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ZZS系列箱式真空鍍膜機
  • 用途及特點(diǎn)
  • 規格參數
    簡(jiǎn) 介
     
    成都南光機器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機,經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展,形成了真空鍍膜室尺寸從350毫米到3600毫米的箱式真空鍍膜機系列產(chǎn)品。廣泛應用于企業(yè)、科研院所、大專(zhuān)院校的科研和量產(chǎn)化生產(chǎn)領(lǐng)域,是鍍制多層光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜的理想設備。
     
    產(chǎn)品特點(diǎn)

    ●采用箱式結構,真空系統后置,便于操作和維修;整機表面平整,方便清潔,特別適合放置在凈化間內做穿墻式安裝。

    ●設備真空系統抽速大,具有抽氣時(shí)間短,真空度高,生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn)。

    ●采用管狀加熱器上烘烤,烘烤溫度均勻,壽命長(cháng),可達到******烘烤溫度350℃,烘烤均勻性270℃±10℃。

    ●工件轉動(dòng)采用上部中心驅動(dòng),軸承帶水冷,磁流體密封,轉動(dòng)平穩******。

    ●采用石英晶體膜厚控制儀,可實(shí)現鍍膜過(guò)程的自動(dòng)控制。

    ●采用******的鍍膜控制系統,人機操作界面美觀(guān)實(shí)用,系統穩定******,可實(shí)現系統的手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)操作。
     
    適用范圍
     
    ●用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長(cháng)波通、短波通和多種電學(xué)薄膜
     
    常用標準配置
     
    ●以下表格內容為我公司五種常用標準機型的配置及指標,多年來(lái)我公司先后開(kāi)發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空鍍膜機。為滿(mǎn)足廣大用戶(hù)的不同需求,我公司可接受多種形式的真空鍍膜機的定制要求,包括對真空室體尺寸、真空系統配置、工件夾具系統、工件烘烤系統、膜厚監控系統、蒸發(fā)源系統、充氣系統、離子源系統以及電氣控制系統的特殊定制。
    ZZS系列箱式真空鍍膜機
    Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
     
    常用標準配置表
    Standard configurations for common use
    型  號
    Model
    ZZS600 ZZS700 ZZS800 ZZS900 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1800
    真空室尺寸(直徑×高)
    Size of the vacuum chamber (diameter× height)
    Φ600×750 Φ710×850 Φ800×900 Φ900×1000 Φ1100×1300 Φ1300×1300 Φ1800×2000
    極限真空度
    Ultimate vacuum degree
    ≤3.0×10-4Pa
    恢復真空時(shí)間
    Time for vacuum recovery
    4.0×10-3Pa≤15min
    抽氣系統
    Pumping system
    擴散泵 Diffusion pump K-400 TK-500
     K-600 
    K-630 TK-500×2 K-630×2 K-800×2
    羅茨泵 Roots pump       ZJP-150 ZJP-300 ZJP-300 ZJP-1200
    機械泵 Mechanical pump 2X-30 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70,H-150×2
    真空測量系統
    Vacuum measuring system
    配三路數字復合真空計,兩路低真空,一路高真空
    Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
    操作方式
    Operation mode
    手動(dòng)/自動(dòng)
    Manual/automatic
    工件夾具
    Work piece holder
    Φ600 Φ640 Φ750 Φ840 Φ1040 Φ1240 Φ1720
    工件烘烤系統
    Work piece baking system
    上烘烤,鎧裝管狀加熱器加熱,******溫度350℃,PID自動(dòng)控溫及顯示
    Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
    蒸發(fā)源
    Evaporation source
     
    電阻蒸發(fā)源
    Resistance evaporation source
    電阻蒸發(fā)源功率4KW(8V、600A)
    Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
    電子束蒸發(fā)源
    Electron beam evaporation source
     
    E型電子束蒸發(fā)源,功率6~10KW
    Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
    膜厚監控系統
    Monitoring system on depth of films
    光學(xué)膜厚監控,波長(cháng)范圍380-800nm,9透反射光路,六位電動(dòng)比較片帶顯示;石英晶體膜厚監控,美國SQC-310、IC/6
    The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9transflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
    充氣系統 charge systems 自動(dòng)壓強儀2~510-2Pa
    Automatic pressure instrument
    質(zhì)量流量計:?jiǎn)温穯物@,雙路雙顯
    Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
    離子輔助(選配)
    Ion-assisted (optional)
    H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源
    H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
    深冷捕集器(選配)
    Cryogenic trap (optional)
    國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進(jìn)口POLYCOLD550、進(jìn)口POLYCOLD670
    Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
     
    動(dòng)力需求
    Power demand
    冷卻水
    Cooling water
    壓力溫度
    Pressure and temperature
    壓力:0.25~0.35MPa;溫度≤25℃
    Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
    流量
    Flow rate
    ≥50L/min ≥60L/min ≥80L/min ≥100L/min ≥140L/min ≥160L/min ≥180L/min
    壓縮空氣
    Compressed air
    壓力:0.5~0.7MPa
    Pressure: 0.5-0.7MPa
    ******消耗電力
    Maximum power consumption
    ~25KW ~35KW ~40KW ~45KW ~50KW ~60KW ~120KW
    設備外形尺寸(寬×深×高)
    Overall dimension (width×depth×height)
    2100×1800×2000 3350×2600×2370 3580×3000×2450 3870×3600×2670 3870×3600×2670 3900×4050×2950 4400×4000×3600
    設備總重(KG)
    Gross weight (Kg)
     
    約1500
    About 1,500
    約2000
    About 2,000
    約2500
    About 2,500
    約3000
    About 3,000
    約3000
    About 3,000
    約4000
    About 4,000
    約6000
    About 4,000
     
     
     

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