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FF型復合分子泵
  • 用途及特點(diǎn)
  • 規格參數
     
    產(chǎn)品用途:Product Applications
     
    ●FF型復合分子泵用來(lái)獲得高真空和超高真空,其廣泛應用于高能加速器、可控熱核反應裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽(yáng)能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。

     
    產(chǎn)品特點(diǎn):Product Features
     
    ●高壓強段保持較大、穩定的抽速;
    ●前級耐壓能力強;
    ●抗沖擊能力強;
    ●易獲得清潔的高真空或超高真空;
    ●設計獨特的轉子,安全性高;
    ●特殊的冷卻系統,散熱性好;
    ●振動(dòng)小、噪音低;
    ●結構緊湊,安裝、維護方便。
    FF型復合分子泵
    Model FF Compound Molecular Pump
     
    技術(shù)參數Technical specifications:

    型號 Model FF-250/1600 FF-160/620
    ******工作壓力Minimum operational pressure(Pa) <1×10-6 <6×10-7
    抽氣速率(對空氣)Pumping speed for air(L/s) 1700 600
    壓縮比Compression ratio 對氮氣 For N2 >108 >109
    對氫氣 For H2 >5×103 >6×103
    進(jìn)氣口法蘭Inlet flange LF250(DN250  IS0-K) DN160CF
    排氣口法蘭Outlet flange KF50(DN50  IS0-KF) KF40
    啟動(dòng)時(shí)間Starting time(min) ≤8 ≤5
    額定轉速Rated rotational speed (r/min) 27000 27000
    振動(dòng)值Libration value(μm) ≤0.1 ≤0.1
    注油量Oiling capacity (ml) 210 210
    推薦前級泵Recommended forevacuum pump 2XZ-15D(15L/s) 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
    軸承Bearing 精密陶瓷球軸承
    Precision ceramic balls bearing
    精密陶瓷球軸承
    Precision ceramic balls bearing
    安裝方式Operational orientation 豎直Vertical(±5°) 豎直Vertical(±5°)
    冷卻方式Cooling method 水冷 Water cooling 水冷 Water cooling
    冷卻水溫度Cooling water temperature(℃) ≤25 ≤25
    冷卻水壓力Cooling water pressure(MPa) 0.196 0.196
    泵體烘烤溫度Pump body baking temperature(℃) ≤100 ≤100
    環(huán)境溫度Environment temperature(℃) 5~40 5~40
    重量Weight(Kg) 47 30
     

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