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F型渦輪分子泵
  • 用途及特點(diǎn)
  • 規格參數
    產(chǎn)品用途:Product Applications
     
    ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
     
    主要應用領(lǐng)域:Main applications:
     
    ●表面物理和分析儀器
    ●等離子體物理,空間研究
    ●核聚變裝置
    ●原子束分子束系統,粒子加速器
    ●真空鍍膜
    ●真空冶煉
    ●半導體和光學(xué)器件制造

    產(chǎn)品特點(diǎn):Product Features
     
    ●體積小,安裝和使用方便
    ●理想的動(dòng)平衡,震動(dòng)和噪音小
    ●壓力在10-1~10-8pa范圍內有恒定的抽速
    ●陶瓷軸承使用壽命長(cháng)
    F型渦輪分子泵
    Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
    技術(shù)參數Technical specifications:
    型號 
    Model
    FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
    進(jìn)氣口法蘭 
    Inlet flange  (mm)
    DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
    出氣口法蘭 
    Oulet flange  (mm)
    DN40KF DN63LF DN100LF
    抽氣速度  
    Pumping speed  (L/S)
    450 1400 3500
    極限壓力
    Ultimate pressure
    不烘烤
    Without baking  (Pa)
    6×10-6 6×10-6 6×10-6
    壓縮比
    Compression ratio
    對N2 108 108 108
    對H2 102 102 102
    轉速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
    起動(dòng)時(shí)間  
    Start-up time <(Min)
    5 10 20
    前級壓力  
    Fore pressure <(Pa)
    10 10 10
    建議采用的前級泵
    Recommended backing pump  (L/s)
    8 15 30
    冷卻水溫度
    Cooling water temperature <(℃)
    ≤25 ≤25 ≤25
    冷卻水壓力
    Cooling water pressure (Mpa)
    0.196 0.196 0.196
    泵體烘烤溫度
    Temperature of baking <(℃)
    120 120 120
    重量  
    Weight(Kg)
    35 70 125
     

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