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立式氫氣爐技術(shù)參數表格
  • 用途及特點(diǎn)
  • 規格參數
     產(chǎn)品應用
     
    本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
         型號    
          Mode    
           技術(shù)參數  
      Technical Data   
    L1113Ⅱ-1 L1112Ⅱ-1(無(wú)油) L1122Ⅱ-1
    ******加熱溫度(空爐 )Max.Heating Temperature(no-load) 1300℃ 1200℃ 2200℃
    額定工作溫度
    Rated Working Temperature
    1200℃ 1100℃ 2100℃
    加熱方式
    Heating Mode
    鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鎢桿組(一段加熱)Tungsten Rods 鉭皮
    Tantalum sheet
    爐溫均勻性
    Furnace Temperature Uniformity
    ±5℃ ±5℃ ±5℃
    爐膛尺寸
    Furnace Chamber Dimension
    Φ200×300 mm Φ200×300 mm Φ75×200 mm
    控溫精度
    Temperature Control Precision
    ±1℃ ±1℃ ±1℃
    空載室溫到工作溫度時(shí)間
    From Room Temperature to working temperature
    < 40Min < 40Min < 40Min(2100℃)
    真空系統
    Vacuum System
    擴散泵系統
    Diffusion Pump System
    分子泵系統
    Turbo Pump System
    分子泵系統
    Turbo Pump System
    極限真空(空爐)
    Ultimate Pressure(no-load)
    5×10-3Pa 7×10-4Pa 1.3×10-5Pa
    工作真空度
    Working Vacuum
    5×10-2Pa 7×10-3Pa 5×10-4Pa
    壓升率
    Pressure Rise Rate
    0.67 Pa/h 0.5 Pa/h 0.67 Pa/h
    冷卻水壓
    Cooling Water Pressure
    0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa 0.2 M Pa~ 0.3 M Pa
    總重量
    Total Weight
    1800Kg 1800 Kg 1800 Kg
    設備總功率
    Total Power
    30 KW 22 KW 30 KW


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